常压化学气相沉积法制备氮化钛薄膜结构和节能性能研究
来源期刊：功能材料2010年第5期
论文作者：段钢锋 赵高凌 林小璇 吴历清 杜丕一 翁文剑 汪建勋 韩高荣
文章页码：847 - 850
关键词：氮化钛;常压化学气相沉积法;沉积时间;结构;阳光控制性能;
摘 要：在普通玻璃基板上利用常压化学气相沉积法在580℃条件下制备得到了氮化钛薄膜。对薄膜的结晶性能、断面形貌、方块电阻以及光学透过率和反射率进行了研究。随着沉积时间的增长,薄膜由单层结构变为一种特殊的双层结构,这种双层结构的形成是沉积过程中气相成核机制引起的。光谱结果显示制备得到的薄膜具备一定的阳光控制性能。然而,双层薄膜的红外反射率随沉积时间的增长迅速降低,影响了其阳光控制性能。
段钢锋，赵高凌，林小璇，吴历清，杜丕一，翁文剑，汪建勋，韩高荣
浙江大学材料科学与工程系,硅材料国家重点实验室
摘 要：在普通玻璃基板上利用常压化学气相沉积法在580℃条件下制备得到了氮化钛薄膜。对薄膜的结晶性能、断面形貌、方块电阻以及光学透过率和反射率进行了研究。随着沉积时间的增长,薄膜由单层结构变为一种特殊的双层结构,这种双层结构的形成是沉积过程中气相成核机制引起的。光谱结果显示制备得到的薄膜具备一定的阳光控制性能。然而,双层薄膜的红外反射率随沉积时间的增长迅速降低,影响了其阳光控制性能。
关键词：氮化钛;常压化学气相沉积法;沉积时间;结构;阳光控制性能;
