PZT薄膜的研究进展
来源期刊：材料与冶金学报2002年第2期
论文作者：陈菊芳 刘常升 陈岁元 张滨 尚丽娟
文章页码：83 - 221
关键词：压电性;钙钛矿结构;热电性;烧绿石;外延生长;PZT薄膜;
摘 要：综述了PZT薄膜的制备方法 ,从电极、微观结构和化学成分、生长方向、多层膜结构以及机械应力对性能的影响五个方面介绍了PZT薄膜的研究进展 .提出了PZT薄膜存在的主要问题和发展方向
陈菊芳，刘常升，陈岁元，张滨，尚丽娟
摘 要：综述了PZT薄膜的制备方法 ,从电极、微观结构和化学成分、生长方向、多层膜结构以及机械应力对性能的影响五个方面介绍了PZT薄膜的研究进展 .提出了PZT薄膜存在的主要问题和发展方向
关键词：压电性;钙钛矿结构;热电性;烧绿石;外延生长;PZT薄膜;
