超声酸洗去除晶体硅切割废料中的杂质铁

来源期刊：有色金属工程2020年第3期

论文作者：姜胜南 李耘霆 王寅超 甘浩然 吕竞一 都兴红 涂思羽

文章页码：35 - 40

关键词：晶体硅切割废料;超声酸浸;铁浸出率;SiC;

摘    要：主要研究了超声场环境下晶体硅切割废料的净化除铁工艺。首先,采用XRF、XRD、SEM、ICP及粒度分析等手段研究了切割废料的物理化学性质。然后,研究了不同浸出剂及配比、酸浸温度、机械搅拌速率以及超声波功率和频率对切割废料中杂质铁的浸出效果。结果表明,较优超声酸浸工艺条件为:浸出剂为盐酸与硫酸的混合酸(HCl∶H2SO4为3∶2)、酸浸温度60℃、浸出时间50min、搅拌速率200r/min、超声波功率270 W、超声波频率45kHz。在此条件下,铁的浸出率可达97.10%。最后,将最优条件下酸浸后的切割废料用于制备碳化硅,XRD分析结果表明,所得产物的物相只有SiC和少量了SiO2,且SiC的纯度可达96.80%。