阳极氧化制备铝磁性膜的研究
来源期刊:工程科学学报1996年第S2期
论文作者:白新德 邱钦伦
关键词:磁性膜;阳极氧化;垂直磁记录;
摘 要:对阳极氧化技术制备铝磁性膜进行了实验研究。用SEM,ESCA,RBS等表面分析手段对Al磁性膜的形貌、大小、厚度以及磁性膜中的元素分布作了分析,并测量了不同工艺条件下磁性膜的矩形比。
白新德,邱钦伦
清华大学材料科学与工程系
摘 要:对阳极氧化技术制备铝磁性膜进行了实验研究。用SEM,ESCA,RBS等表面分析手段对Al磁性膜的形貌、大小、厚度以及磁性膜中的元素分布作了分析,并测量了不同工艺条件下磁性膜的矩形比。
关键词:磁性膜;阳极氧化;垂直磁记录;