溅射镀膜
来源期刊：机械设计与制造1983年第2期
论文作者：王中美
文章页码：49 - 53
摘 要：<正> 一、前言随着工业的发展,对材料提出的要求越来越多,越来越高,仅靠研制新材料是不可能满足需要的。表面处理技术能使材料的物理,机械和化学性能得到提高,溅射镀膜就是最近发展起来的一种新的表面处理技术。由于溅射镀膜比以往的真空镀膜具有“高速、低温”两个显著的特点,所以国外在七十年代,它的应用已得到了迅速的发展。
王中美
摘 要：<正> 一、前言随着工业的发展,对材料提出的要求越来越多,越来越高,仅靠研制新材料是不可能满足需要的。表面处理技术能使材料的物理,机械和化学性能得到提高,溅射镀膜就是最近发展起来的一种新的表面处理技术。由于溅射镀膜比以往的真空镀膜具有“高速、低温”两个显著的特点,所以国外在七十年代,它的应用已得到了迅速的发展。
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