聚乙烯亚胺添加剂对碱性镀铜电沉积行为的影响
来源期刊：材料保护2010年第2期
论文作者：陈雪梅 胡立新 程骄 张智 占稳 欧阳贵
关键词：碱性镀铜; 聚乙烯亚胺添加剂; 镀层表面形貌; 择优取向; 连续成核; alkaline copper electroplating; polyethyleneimine additive; surface morphology; orientation; continuous nucleation;
摘 要：为了研究碱性镀铜中添加剂对铜电沉积行为的影响,采用一种新型柠檬酸碱性镀铜工艺制备了铜镀层,研究了聚乙烯亚胺添加剂在新型柠檬酸盐碱性镀铜中的作用机理.运用SEM,XRD和电化学方法对镀液、镀层进行了分析.结果表明:聚乙烯亚胺有利于获得较宽的电流密度范围和均匀细致的镀层,使铜镀层表现出(111)晶面的择优取向,铜的沉积为侧向生长;聚乙烯亚胺优先吸附在阴极高电流密度处,并对铜沉积产生较强的阻化作用;铜电沉积的初期行为服从扩散控制和三维连续成核方式生长规律.
陈雪梅1，胡立新2，程骄2，张智2，占稳2，欧阳贵3
(1.黄石理工学院化工与材料学院,湖北,黄石,435003;
2.湖北工业大学化学与环境工程学院,湖北,武汉,430068;
3.武汉材料保护研究所,湖北,武汉,430030)
摘要:为了研究碱性镀铜中添加剂对铜电沉积行为的影响,采用一种新型柠檬酸碱性镀铜工艺制备了铜镀层,研究了聚乙烯亚胺添加剂在新型柠檬酸盐碱性镀铜中的作用机理.运用SEM,XRD和电化学方法对镀液、镀层进行了分析.结果表明:聚乙烯亚胺有利于获得较宽的电流密度范围和均匀细致的镀层,使铜镀层表现出(111)晶面的择优取向,铜的沉积为侧向生长;聚乙烯亚胺优先吸附在阴极高电流密度处,并对铜沉积产生较强的阻化作用;铜电沉积的初期行为服从扩散控制和三维连续成核方式生长规律.
关键词:碱性镀铜; 聚乙烯亚胺添加剂; 镀层表面形貌; 择优取向; 连续成核; alkaline copper electroplating; polyethyleneimine additive; surface morphology; orientation; continuous nucleation;
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