三组元氮化物硬质膜的硬度研究进展

来源期刊：材料保护2020年第6期

论文作者：徐晨宁 张钧 代佳艺 孙欣

文章页码：121 - 264

关键词：氮化物膜;硬度;工艺参数;组元配比;

摘    要：结合氮化物薄膜的主要制备方法,主要就工艺参数和组元配比对氮化物薄膜硬度的影响进行了详细的介绍。从微观角度分析了在实际制备时,偏压、靶电流、N2流量、温度等工艺参数对氮化物薄膜硬度的影响。详细指出不同工艺参数、不同组元配比下氮化物膜层硬度的变化趋势,并指出对于三组元氮化物薄膜的最佳组元配比。对于目前常用的提高硬度的方法进行了论述,如细晶强化、固溶强化、离子轰击、晶界强化等。最后对当前提高氮化物硬度的方法和未来氮化物膜层硬度的研究方向进行了展望。