化学气相沉积钨的组织与力学性能研究

鲁旭东¹，孙红婵¹，李树奎¹，宋修纲²，侯岳翔¹

(1.北京理工大学材料科学与工程学院,北京,100081;
2.黑龙江北方工具有限公司,黑龙江,牡丹江,157000)

摘要:用扫描电镜上的EBSD装置研究化学气相沉积法制备的高纯钨的晶体取向,化学气相沉积钨具有{110}<001取向织构;用电子万能试验机和分离式霍普金森杆(SHPB)研究纯钨的准静态(10-3s-1)和动态(2000～5000 s-1)压缩力学性能.并与等轴晶重熔钨进行对比分析,沉积钨的屈服强度由静态时的1350 MPa上升到动态时的2000 MPa以上.是应变率敏感材料,等轴晶纯钨的静动态屈服强度高于柱状晶沉积纯钨,柱状晶沉积纯钨有明显的应变硬化效应.沉积钨柱状晶组织的塑性变形方式除滑移外,还有大量的孪晶产生.

关键词:化学气相沉积; 应变率效应; 力学性能; 高纯钨; 变形机制;

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