新型箔式锰铜超高压力传感器
来源期刊：材料导报2005年增刊第2期
论文作者：周鸿仁 杜晓松 杨邦朝 滕林 崔红玲
关键词：箔式锰铜传感器; Al2O3薄膜; 动态高压测试;
摘 要：为了提高锰铜超高压力传感器的测压上限,须采用超高压力下绝缘性能好的无机材料作为绝缘封装层.用Al2O3薄膜作箔式锰铜超高压力传感器的绝缘层,代替现有箔式锰铜计中所使用的粘胶剂及PTFE膜,从根本上消除高压旁路效应,提高传感器的测压上限.初步的动态超高压测试结果表明,该传感器所承受的压力为54.55GPa,压阻系数为0.0237GPa-1,延续时间可达1.6μs.
周鸿仁1，杜晓松1，杨邦朝1，滕林1，崔红玲1
(1.电子科技大学电子工程学院电子实验中心,成都,610054)
摘要:为了提高锰铜超高压力传感器的测压上限,须采用超高压力下绝缘性能好的无机材料作为绝缘封装层.用Al2O3薄膜作箔式锰铜超高压力传感器的绝缘层,代替现有箔式锰铜计中所使用的粘胶剂及PTFE膜,从根本上消除高压旁路效应,提高传感器的测压上限.初步的动态超高压测试结果表明,该传感器所承受的压力为54.55GPa,压阻系数为0.0237GPa-1,延续时间可达1.6μs.
关键词:箔式锰铜传感器; Al2O3薄膜; 动态高压测试;
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