简介概要

电子背散射衍射技术及其在材料分析中的应用

来源期刊：理化检验物理分册2006年第6期

论文作者：宋武林王建军郭连贵

关键词：电子背散射衍射技术; 材料科学; 显微组织分析;

摘要：较详细地阐明了电子背散射衍射技术(EBSD)的基本原理、实验分析方法.通过安装在场发射扫描电子显微镜上的电子背散射衍射系统,可以对块状样品进行材料微区范围内取向与结构的快速分析,使显微组织、微区成分与结晶学数据分析联系起来,电子背散射衍射技术成为现代材料科学研究的重要实验技术.

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宋武林¹，王建军¹，郭连贵¹

(1.华中科技大学分析测试中心,武汉,430074)

摘要:较详细地阐明了电子背散射衍射技术(EBSD)的基本原理、实验分析方法.通过安装在场发射扫描电子显微镜上的电子背散射衍射系统,可以对块状样品进行材料微区范围内取向与结构的快速分析,使显微组织、微区成分与结晶学数据分析联系起来,电子背散射衍射技术成为现代材料科学研究的重要实验技术.

关键词:电子背散射衍射技术; 材料科学; 显微组织分析;

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