聚焦离子束系统在微米/纳米加工技术中的应用
来源期刊：材料导报2006年增刊第2期
论文作者：唐永建 张继成 吴卫东
关键词：聚焦离子束; 刻蚀; 沉积; 离子注入; 微区分析与加工; 无掩膜曝光;
摘 要：聚焦离子束系统是微细加工和分析的主要技术之一,是一个完美的微米/纳米技术研究平台.简述了聚焦离子束系统的组成和主要功能,着重介绍了近年来该技术在离子束刻蚀、反应离子束刻蚀、离子束辅助沉积、离子注入、微区分析、掺杂和成像以及无掩膜曝光等微米/纳米加工领域的应用,并对未来的发展前景进行了简要分析.
唐永建1，张继成1，吴卫东1
(1.中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳,621900)
摘要:聚焦离子束系统是微细加工和分析的主要技术之一,是一个完美的微米/纳米技术研究平台.简述了聚焦离子束系统的组成和主要功能,着重介绍了近年来该技术在离子束刻蚀、反应离子束刻蚀、离子束辅助沉积、离子注入、微区分析、掺杂和成像以及无掩膜曝光等微米/纳米加工领域的应用,并对未来的发展前景进行了简要分析.
关键词:聚焦离子束; 刻蚀; 沉积; 离子注入; 微区分析与加工; 无掩膜曝光;
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