纳米多孔薄膜孔结构的非破坏性表征

冯坚¹，王娟¹，张长瑞¹

(1.国防科技大学,航天与材料工程学院新型陶瓷纤维及其复合材料国防科技重点实验室,湖南,长沙,410073)

摘要:对纳米多孔低介电常数薄膜孔洞率、孔径、孔径分布和孔洞连通性等孔结构的表征有助于理解薄膜的结构和提高其性能.近年来开展了利用与特殊X射线反射联用的小角中子散射、小角X射线散射、椭偏测孔仪、正电子湮没谱和表面声波谱等非破坏性方法表征多孔低介电常数薄膜孔结构的研究.介绍了这些方法的基本原理,综述了利用这些方法研究低介电常数介质薄膜及其集成工艺的进展,总结了这些方法表征多孔薄膜孔结构的特征.

关键词:纳米多孔薄膜; 低介电常数介质薄膜; 小角中子散射; 椭偏测孔仪; 正电子(素)湮没寿命谱;

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