固结磨料抛光LBO晶体非水基抛光液优化

宋龙龙¹，李军¹，王文泽¹，胡章贵²，朱永伟¹，左敦稳¹

1. 南京航空航天大学机电学院2. 中国科学院理化技术研究所功能晶体与激光技术重点实验室

摘 要：三硼酸锂(LBO)晶体是优良的非线性光学晶体材料,抛光后晶体表面水份残留导致晶体潮解,影响器件的使用性能。采用非水基抛光液固结磨料抛光LBO晶体,降低水含量,研究非水基抛光液中去离子水、乳酸、双氧水等含量对材料去除率和表面粗糙度的影响,并综合优化得到高材料去除率和优表面质量的抛光液组分。研究表明,抛光液中去离子水浓度16%、乳酸22%、双氧水5%为最优抛光液组分,采用优化的抛光液固结磨料抛光LBO晶体的材料去除率达到392nm/min,表面粗糙度为0.62nm,实现了LBO晶体表面的高效高质量抛光,同时避免了抛光过程中水的大量使用。

关键词：固结磨料抛光;非水基抛光液;材料去除率;表面粗糙度;