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溅射法制备VO2薄膜的研究现状

来源期刊：材料导报2007年增刊第2期

论文作者：张津宋晶晶杨栋华

关键词：二氧化钒; 薄膜; 溅射; 影响因素;

摘要：主要介绍了VO2薄膜的微、宏观相变机理,阐述了溅射法制备VO2薄膜的优势及影响薄膜性能的一些因素,指出了今后VO2薄膜的研究重点.

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张津¹，宋晶晶¹，杨栋华¹

(1.重庆工学院材料学院,重庆,400050)

摘要:主要介绍了VO2薄膜的微、宏观相变机理,阐述了溅射法制备VO2薄膜的优势及影响薄膜性能的一些因素,指出了今后VO2薄膜的研究重点.

关键词:二氧化钒; 薄膜; 溅射; 影响因素;

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