简介概要

矢量扫描微立体光刻技术研究进展

来源期刊：矿山机械2006年第4期

论文作者：于成龙王秀峰江红涛单联娟

文章页码：122 - 129

关键词：矢量扫描;微立体光刻技术;微制造;快速原型制造;

摘要：阐述了矢量扫描微立体光刻技术中表面束缚技术及自由表面技术的基本原理；分析了提高空间分辨率的解决措施和研究动态。简要阐述了该技术在制造原型、微系统部件及微流体装置等方面的应用。

详情信息展示

于成龙，王秀峰，江红涛，单联娟

关键词：矢量扫描;微立体光刻技术;微制造;快速原型制造;