溶液沉积平整化工艺用于制备第二代高温超导带材的研究进展
来源期刊:材料导报2016年第23期
论文作者:储静远 赵跃 吴蔚 洪智勇 金之俭
文章页码:109 - 113
关键词:第二代高温超导带材;薄膜生长;溶液沉积平整化;离子束辅助沉积;
摘 要:低成本制备高性能第二代高温超导带材是实现其产业应用的基础。离子束辅助沉积技术由于具有对金属基带材料依赖弱、产生的织构度高、生产速度快等优点而被广泛使用。在该工艺中,如何获得原子级平整的金属基底,进而获取优良织构的缓冲层一直是科学家关注的焦点。近年来,溶液沉积平整化(SDP)作为一种新型的基底平整化处理方式,以其特有的成本低廉、生产高效等优势越来越被各国所重视。系统地介绍了SDP工艺的发展历史和基本原理,总结了近几年来国内外科研机构对SDP工艺研究的主要内容及最新进展。
储静远,赵跃,吴蔚,洪智勇,金之俭
上海交通大学电子信息与电气学院
摘 要:低成本制备高性能第二代高温超导带材是实现其产业应用的基础。离子束辅助沉积技术由于具有对金属基带材料依赖弱、产生的织构度高、生产速度快等优点而被广泛使用。在该工艺中,如何获得原子级平整的金属基底,进而获取优良织构的缓冲层一直是科学家关注的焦点。近年来,溶液沉积平整化(SDP)作为一种新型的基底平整化处理方式,以其特有的成本低廉、生产高效等优势越来越被各国所重视。系统地介绍了SDP工艺的发展历史和基本原理,总结了近几年来国内外科研机构对SDP工艺研究的主要内容及最新进展。
关键词:第二代高温超导带材;薄膜生长;溶液沉积平整化;离子束辅助沉积;