气相色谱法测定硅烷法生产多晶硅的尾气中硅烷的含量
来源期刊：理化检验-化学分册2019年第4期
论文作者：李辉 宗凤云
文章页码：477 - 479
摘 要：<正>近年来,由于国内外大型多晶硅生产企业的不断扩张,使得多晶硅由过去的暴利阶段进入了品质和成本的竞争阶段。硅烷法生产多晶硅具有分解温度低、能耗低、成本低、无污染等优点,被越来越多的多晶硅生产企业关注和应用。不论是国外大型多晶硅生产厂家的成熟发展,还是目前国内硅烷法生产多晶硅的逐步发展的趋势,这些都表明硅烷法是未来多晶硅产业技术提升与发展的主要方向。
李辉，宗凤云
内蒙古神舟硅业有限责任公司
摘 要：<正>近年来,由于国内外大型多晶硅生产企业的不断扩张,使得多晶硅由过去的暴利阶段进入了品质和成本的竞争阶段。硅烷法生产多晶硅具有分解温度低、能耗低、成本低、无污染等优点,被越来越多的多晶硅生产企业关注和应用。不论是国外大型多晶硅生产厂家的成熟发展,还是目前国内硅烷法生产多晶硅的逐步发展的趋势,这些都表明硅烷法是未来多晶硅产业技术提升与发展的主要方向。
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