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H+辐照前后Mo涂层表面的XPS分析

来源期刊：功能材料2007年第2期

论文作者：黄宁康汪德志杜晓松刘春海杨斌

关键词：离子束混合; Mo薄膜; H+辐照; XPS分析;

摘要：对离子束混合技术在不锈钢基体上沉积的钼膜进行了H+辐照前后的XPS分析,研究了H+辐照对钼膜的结合能的影响.分析结果表明,沉积的钼膜中除了单质钼外,还有部分钼的氧化物;H+辐照结果表明,H+的辐照使钼的结合能向低能方向偏移;钼的氧化物有所减少,说明污染的氧化物在一定程度上被择优溅射掉.

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黄宁康¹，汪德志¹，杜晓松²，刘春海¹，杨斌¹

(1.四川大学,原子核科学技术研究所,教育部辐射物理及技术重点实验室,四川,成都,610064;
2.电子科技大学,光电信息学院,四川,成都,610054)

摘要:对离子束混合技术在不锈钢基体上沉积的钼膜进行了H+辐照前后的XPS分析,研究了H+辐照对钼膜的结合能的影响.分析结果表明,沉积的钼膜中除了单质钼外,还有部分钼的氧化物;H+辐照结果表明,H+的辐照使钼的结合能向低能方向偏移;钼的氧化物有所减少,说明污染的氧化物在一定程度上被择优溅射掉.

关键词:离子束混合; Mo薄膜; H+辐照; XPS分析;

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