N₂流量对室温磁控溅射制备Ti-N薄膜太阳能光谱吸收特性的影响

来源期刊：稀有金属材料与工程2014年第9期

论文作者：王轩 董国波 高方圆 刁训刚

文章页码：2242 - 2246

关键词：磁控溅射;室温;氮化钛;选择性吸收薄膜;优化设计;

摘    要：利用非平衡磁控溅射技术,在室温条件下制备了一系列不同N2流量的Ti-N薄膜,研究了N2流量对薄膜微观形貌和光学性能的影响。根据分析结果设计并制备了四层结构的Ti-N太阳能选择性吸收薄膜,通过软件对薄膜进行了优化设计并进行了实验验证。结果表明,随着N2流量的增加,薄膜的微观形貌发生变化,逐渐出现气泡状沉积物及气泡破裂状形貌,直至变为无定型态。通过紫外-可见-近红外光谱分析可知,选用合适的工艺可有效提高太阳能吸收薄膜光学性能,利用软件对薄膜进行优化设计可使薄膜光学性能获得进一步改进,经过优化的薄膜吸收率达0.9048,可用作太阳能光谱选择性吸收薄膜。