生物医用类金刚石薄膜的力学性能评价
来源期刊：稀有金属材料与工程2001年第5期
论文作者：徐可为 黄立业 杨生荣 刘维民
关键词：类金刚石薄膜; 生物材料; 力学性能;
摘 要：用射频等离子体增强化学气相沉积在钛合金表面制备类金刚石薄膜, 利用原子力显微镜、纳米力学探针、划痕仪、滑动摩擦和微动摩擦等研究了涂层的表面形貌和力学性能. 结果表明: 随涂层厚度的增加, 表面粗糙度先增后降, 最后趋于稳定, 硬度和划痕临界载荷提高, 室温空气条件下的滑动摩擦系数减小; 对于确定的膜厚, 随相对湿度增加, 摩擦系数降低, 这有利于其在体液环境中的应用.
徐可为1，黄立业1，杨生荣3，刘维民3
(1.西安交通大学;
2.特鲁瓦技术大学机械系统并行工程实验室;
3.中国科学院兰州化学物理所)
摘要:用射频等离子体增强化学气相沉积在钛合金表面制备类金刚石薄膜, 利用原子力显微镜、纳米力学探针、划痕仪、滑动摩擦和微动摩擦等研究了涂层的表面形貌和力学性能. 结果表明: 随涂层厚度的增加, 表面粗糙度先增后降, 最后趋于稳定, 硬度和划痕临界载荷提高, 室温空气条件下的滑动摩擦系数减小; 对于确定的膜厚, 随相对湿度增加, 摩擦系数降低, 这有利于其在体液环境中的应用.
关键词:类金刚石薄膜; 生物材料; 力学性能;
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