基于材料去除的微制造技术发展
来源期刊：机械设计与制造2005年第4期
论文作者：李莉 齐乐华 徐林峰 杨方
文章页码：88 - 90
关键词：材料去除;MEMS;微加工;
摘 要：这里将微机械制造技术分为材料去除技术、材料沉积(增材)制造技术和变形制造技术,对基于材料去除的微制造技术的原理、方法、特点、应用和发展现状进行了比较和综述,在此基础上对微制造技术的发展方向作出了预测。
李莉，齐乐华，徐林峰，杨方
摘 要：这里将微机械制造技术分为材料去除技术、材料沉积(增材)制造技术和变形制造技术,对基于材料去除的微制造技术的原理、方法、特点、应用和发展现状进行了比较和综述,在此基础上对微制造技术的发展方向作出了预测。
关键词：材料去除;MEMS;微加工;
