大口径镀膜机均匀性的研究
来源期刊：功能材料2004年增刊第1期
论文作者：范正修 范瑞瑛 易葵 邵建达 方明 董磊
关键词：薄膜; 均匀性; 修正挡板;
摘 要：对于大口径镀膜机的均匀性特性进行了研究,得到了一组厚度分布曲线,并对曲线进行了分析;利用这些实验结果,运用新理论设计出了具有实用性的修正挡板,均匀性可稳定的达到3‰.
范正修1，范瑞瑛1，易葵1，邵建达1，方明1，董磊1
(1.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800)
摘要:对于大口径镀膜机的均匀性特性进行了研究,得到了一组厚度分布曲线,并对曲线进行了分析;利用这些实验结果,运用新理论设计出了具有实用性的修正挡板,均匀性可稳定的达到3‰.
关键词:薄膜; 均匀性; 修正挡板;
【全文内容正在添加中】
