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多弧离子镀(Ti,W)xN合金涂层组织与性能

来源期刊：材料工程2000年第9期

论文作者：黄拿灿吴起白曾鹏谢光荣胡社军

关键词：多弧离子镀; (Ti,W)xN涂层; 组织性能; 成分离析;

摘要：采用Ti/W复合靶用多弧离子镀技术沉积了(Ti,W)xN合金涂层,并对该涂层的组织与性能进行了研究.结果表明,涂层组织致密,孔隙率极低,主要结构为(Ti,W)2N,并具有较高的显微硬度和抗氧化性.在沉积过程中存在着多元合金涂层与复合靶的成分离析现象,这与靶材的结构有关.

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黄拿灿¹，吴起白¹，曾鹏¹，谢光荣¹，胡社军¹

(1.广东工业大学材料能源学院,广州,510643)

摘要:采用Ti/W复合靶用多弧离子镀技术沉积了(Ti,W)xN合金涂层,并对该涂层的组织与性能进行了研究.结果表明,涂层组织致密,孔隙率极低,主要结构为(Ti,W)2N,并具有较高的显微硬度和抗氧化性.在沉积过程中存在着多元合金涂层与复合靶的成分离析现象,这与靶材的结构有关.

关键词:多弧离子镀; (Ti,W)xN涂层; 组织性能; 成分离析;

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