高性能聚焦离子束技术的应用
来源期刊：理化检验物理分册2004年第9期
论文作者：周伟敏
关键词：聚焦离子束(FIB); 透射电子显微分析(TEM); 二次离子像(SIM); 样品制备;
摘 要：叙述了采用液态镓作为离子源的高性能聚焦离子束系统(FIB)在材料科学研究领域中的作用.该系统有三大用途:形貌观察;分辨率高达5nm;微刻蚀以及微沉淀.详细地介绍了利用FIB进行形貌观察、制备TEM样品和表面刻蚀的过程及实验结果.
周伟敏1
(1.上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030)
摘要:叙述了采用液态镓作为离子源的高性能聚焦离子束系统(FIB)在材料科学研究领域中的作用.该系统有三大用途:形貌观察;分辨率高达5nm;微刻蚀以及微沉淀.详细地介绍了利用FIB进行形貌观察、制备TEM样品和表面刻蚀的过程及实验结果.
关键词:聚焦离子束(FIB); 透射电子显微分析(TEM); 二次离子像(SIM); 样品制备;
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