激光等离子体气相合成纳米SiC陶瓷粉末

来源期刊：中国有色金属学报1998年第z2期

论文作者：马连喜 周怡 付广生

文章页码：349 - 350

关键词：气相合成； 等离子体； SiC超细粉末

摘    要：用TEA(Transversely-excitedAtrnosphere-pressure)CO₂激光辐照SiH₄-Ar-CH₄，SiH₄-Ar-C₂H₄，SiH₄-Ar-C₂H₆，SiH₄-Ar-C₃H₆等源反应气体，产生等离子体合成出纳米级的陶瓷粉末SiC。颗粒大小约为几十纳米，呈球形，不团聚或呈轻微链状团聚，且粒度分布均匀。利用多种仪器检测了粉末的物理化学性质，研究了合成参量的变化对粉末产率及物理化学性质的影响，得到了最佳工艺条件。还对反应成核及生长过程进行了讨论。