含氟表面活性剂对多晶硅绒面微结构的影响

林育琼¹，冯仕猛¹，王坤霞¹，顾俊²，刘少军²，刘峰³

1. 上海交通大学物理系2. 上海神舟新能源发展有限公司3. 上海交大林洋太阳能光伏研发中心

摘 要：在酸制绒液中加入含氟表面活性剂,对多晶硅片制绒。然后通过扫描电子显微镜观察多晶硅表面织构,并在此基础上分析含氟表面活性剂对腐蚀效果的影响。实验结果表明:虽然传统酸液对多晶硅制绒是各向同性的,但加入含氟表面活性剂后,酸腐蚀出现各向异性腐蚀特性;由此制备的多晶硅片反射率从25.7%下降到了23.9%,表面出现变形的金字塔、三角形等,且不同晶面的金字塔和三角形的大小和倾斜角度不同。最后根据杨氏理论,从界面张力的角度解释了含氟表面活性剂对制绒的影响机理。

关键词：氟表面活性剂;多晶硅片;绒面;