掺杂FeVO4低温烧结ZnO-Nb2O5-TiO2微波介质陶瓷

杨辉¹，陆德龙²，张启龙¹，邹佳丽¹，童建喜¹

(1.浙江大学材料与化学工程学院,浙江,杭州,310027;
2.浙江正原电气股份有限公司,浙江,嘉兴,310043)

摘要:研究了FeVO4对ZnO-Nb2O5-TiO2微波介质陶瓷的烧结特性、介电性能、相组成和微观结构的影响.研究表明:添加3 ω/%～10ω/%FeVO4可使烧结温度从1200℃降低到960℃,XRD与EDS分析表明FeVO4固溶入主晶相ZnTiNb2O8,导致晶格畸变,缺陷增加,促进传质,在液相和固溶体协同作用下降低烧结温度;随FeVO4添加量的增加,Zn0.15Nb0.3Ti0.55O2相和TiO2相含量增大,介电常数εr基本不变,Q·f值由于晶体缺陷增多和晶粒尺寸不均而下降;FeVO4添加量为4 ω/%的ZnO-Nb2O5-TiO2陶瓷可在940 ℃,2 h条件下致密烧结,微波介电性能为εr=40,Q·f=10 200 GHz(3GHz),τf=-9×10-6/℃,可用于制备各种多层微波频率器件.

关键词:微波介质陶瓷; 低温烧结; 介电性能; ZnO-Nb2O5-TiO2;

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