脉冲激光辐射下VO2薄膜的光限幅性能
来源期刊:航空材料学报2017年第3期
论文作者:田野 罗飞 刘大博 祁洪飞 陈冬生 罗炳威 周海涛 麦克瓦尔·里兹柯夫
文章页码:56 - 60
关键词:VO2;热致相变;激光防护;
摘 要:采用反应溅射和后续退火工艺,在石英衬底上制备具有热致相变特性的VO2薄膜,并对薄膜的光学性能进行表征。研究发现:在弱光辐射下,随着温度的改变,薄膜的透射率在可见及近红外光区会发生显著变化,具有良好的相变光开关特性;在强光辐射下,制备的VO2薄膜同样具有良好的红外光调制深度;当脉冲激光波长为1064 nm时,随着脉冲能量的逐渐增强,薄膜的表面反射率逐渐降低,光限幅性能呈现出先升高再降低的趋势,其透射率最低可降至7%,薄膜的脉冲激光损伤阈值约为50 mJ/cm2。
田野1,罗飞1,刘大博1,祁洪飞1,陈冬生1,罗炳威1,周海涛1,麦克瓦尔·里兹柯夫2
1. 北京航空材料研究院2. 俄罗斯科学院
摘 要:采用反应溅射和后续退火工艺,在石英衬底上制备具有热致相变特性的VO2薄膜,并对薄膜的光学性能进行表征。研究发现:在弱光辐射下,随着温度的改变,薄膜的透射率在可见及近红外光区会发生显著变化,具有良好的相变光开关特性;在强光辐射下,制备的VO2薄膜同样具有良好的红外光调制深度;当脉冲激光波长为1064 nm时,随着脉冲能量的逐渐增强,薄膜的表面反射率逐渐降低,光限幅性能呈现出先升高再降低的趋势,其透射率最低可降至7%,薄膜的脉冲激光损伤阈值约为50 mJ/cm2。
关键词:VO2;热致相变;激光防护;