铁基多层纳米磁性薄膜的组织与磁性能研究
来源期刊：上海金属2011年第4期
论文作者：王军 殷俊林 严彪
文章页码：19 - 22
关键词：磁性薄膜； 多层； 磁性能； 组织
Key words：Magnetic Nano-Films； Multi-Layers； Magnetic Properties； Microstructure
摘 要：利用表面刻蚀镀膜技术制备了铁基多层纳米磁性薄膜,通过刻蚀镀膜控制参数的调整,可以精确地控制薄膜的厚度。然后对薄膜进行退火处理,使薄膜晶化。最后,对薄膜磁性能进行了测量。
Abstract: Ferrous magnetic nano-films were obtained by sputtering technology.The thickness of films could be controlled by adjusting the parameter of sputtering process.The films became crystal after tempered.At last,the magnetic properties of the films were measured.
王军1，殷俊林1，严彪1
(1.上海市同济大学 材料学院金属基材料研究所上海市金属功能材料重点实验室)
摘 要：利用表面刻蚀镀膜技术制备了铁基多层纳米磁性薄膜,通过刻蚀镀膜控制参数的调整,可以精确地控制薄膜的厚度。然后对薄膜进行退火处理,使薄膜晶化。最后,对薄膜磁性能进行了测量。
关键词：磁性薄膜； 多层； 磁性能； 组织
