CaO-B2O3-SiO2微晶玻璃LTCC基板的烧结性能研究
来源期刊：材料导报2008年增刊第3期
论文作者：张树人 干林杰 周晓华 王中俭 胡鉴耿
关键词：CaO-B2O3-SiO2系统微晶玻璃; 低温共烧; 晶相分析;
摘 要：CaO-B2O3-SiO2微晶玻璃基板具有介电常数低、能与金属电极低温共烧等特性.设计了3种玻璃配方,重点研究了其烧结性能和晶相组成.通过差热分析、X射线衍射晶相分析、SEM形貌分析、烧结收缩实验以及介电性能测定等,研究了玻璃组成、粉体颗粒度和烧结制度等对材料晶相组成和性能的影响.结果表明,主晶相为硅灰石,粉体颗粒度D50在2靘左右,经850℃、10min烧结,可以获得致密度高、介电常数和介电损耗低的LTCC材料.
张树人1，干林杰1，周晓华1，王中俭2，胡鉴耿1
(1.电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;
2.华东理工大学无机材料系,上海,200237)
摘要:CaO-B2O3-SiO2微晶玻璃基板具有介电常数低、能与金属电极低温共烧等特性.设计了3种玻璃配方,重点研究了其烧结性能和晶相组成.通过差热分析、X射线衍射晶相分析、SEM形貌分析、烧结收缩实验以及介电性能测定等,研究了玻璃组成、粉体颗粒度和烧结制度等对材料晶相组成和性能的影响.结果表明,主晶相为硅灰石,粉体颗粒度D50在2靘左右,经850℃、10min烧结,可以获得致密度高、介电常数和介电损耗低的LTCC材料.
关键词:CaO-B2O3-SiO2系统微晶玻璃; 低温共烧; 晶相分析;
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