超细晶TiNi表面磁控溅射CNx薄膜的纳米压痕与摩擦性能

来源期刊：稀有金属材料与工程2013年第3期

论文作者：许晓静 刘敏 张体峰 凌智勇 盛新兰 陈丹

文章页码：585 - 588

关键词：TiNi基材;薄膜;微结构;纳米压痕;摩擦性能;磁控溅射;

摘    要：采用室温磁控溅射技术在超细晶TiNi合金表面制备出CNx/SiC（氮化碳/碳化硅）双层薄膜,SiC为中间层。研究了CNx薄膜的组织结构、纳米压痕和摩擦性能。结果表明:CNx薄膜存在微孔缺陷（基体中夹杂物脱落等原因引起）、石墨含量高、纳米硬度（5.23GPa）低、弹性模量（33.29GPa）低,但具有高的硬度与弹性模量比值（0.157）。在200g载荷、氮化硅球（半径为2mm）为对摩件、大气干摩擦条件下,CNx薄膜的摩擦系数约为0.173,磨损后薄膜未出现裂纹和剥落;在500g载荷、室温Kokubo人体模拟体液下,CNx薄膜的摩擦系数约为0.103,但磨损后薄膜出现剥落。剥落的发生可能是由于SBF溶液通过微孔缺陷进入并腐蚀薄膜-薄膜-基材界面所致。