Ag离子注入石英玻璃光学透射率研究
来源期刊：功能材料与器件学报2003年第1期
论文作者：石瑛 陈海波 付强 蒋昌忠
关键词：离子注入; 纳米晶体; 光学透射率;
摘 要：用 Mevva离子源,将 Ag离子注入到石英玻璃中形成纳米晶粒.离子注入的能量为 90keV, 剂量分别为 5× 1015、1× 1016、3× 1016、5×1016、 1× 1017ions/cm2. X光电子能谱( XPS)分析纳米 Ag 颗粒没有发生化学反应, 说明 Ag仍以金属态形式存在.光学透射率测试表明, 吸收峰的位置在 400nm,当剂量大于 5× 1016 ions/cm2时,发现在 440nm左右有一伴峰.分析表明 400nm的峰来源 于表面等离子体共振吸收,而 440nm的伴峰是注入离子形成了少数非常大的纳米颗粒以及纳米颗 粒之间相互作用引起的.样品退火后, 表面等离子体共振吸收峰红移,而伴峰消失.随着退火的 温度升高,峰位红移越大,说明纳米颗粒尺寸增大.
石瑛1，陈海波1，付强1，蒋昌忠1
(1.武汉大学,物理科学与技术学院,武汉,430072)
摘要:用 Mevva离子源,将 Ag离子注入到石英玻璃中形成纳米晶粒.离子注入的能量为 90keV, 剂量分别为 5× 1015、1× 1016、3× 1016、5×1016、 1× 1017ions/cm2. X光电子能谱( XPS)分析纳米 Ag 颗粒没有发生化学反应, 说明 Ag仍以金属态形式存在.光学透射率测试表明, 吸收峰的位置在 400nm,当剂量大于 5× 1016 ions/cm2时,发现在 440nm左右有一伴峰.分析表明 400nm的峰来源 于表面等离子体共振吸收,而 440nm的伴峰是注入离子形成了少数非常大的纳米颗粒以及纳米颗 粒之间相互作用引起的.样品退火后, 表面等离子体共振吸收峰红移,而伴峰消失.随着退火的 温度升高,峰位红移越大,说明纳米颗粒尺寸增大.
关键词:离子注入; 纳米晶体; 光学透射率;
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