钛合金阳极氧化膜的XPS研究
来源期刊：宇航材料工艺2009年第6期
论文作者：朱胜利 杜志惠 杨贤金 崔振铎
关键词：钛合金; 阳极氧化; XPS; Titanium alloy; Anodic oxide film; XPS;
摘 要：利用XPS分析了TCA钛合金经阳极氧化处理后,表面氧化膜的成分和结构及其随深度的变化.研究表明,钛合金阳极氧化膜表面为单一的TiO_2,并以晶态和非晶态的形式存在于氧化膜中.随着氧化膜厚度的增加,内部氧化越来越不充分,TiO_2的含量减少,并逐渐出现Ti:O_3、TiO;并且阳极氧化处理明显增厚了表面氧化膜.
朱胜利1，杜志惠2，杨贤金1，崔振铎1
(1.天津大学材料科学与工程学院,天津,300072;
2.航天材料及工艺研究所,北京,100076)
摘要:利用XPS分析了TCA钛合金经阳极氧化处理后,表面氧化膜的成分和结构及其随深度的变化.研究表明,钛合金阳极氧化膜表面为单一的TiO_2,并以晶态和非晶态的形式存在于氧化膜中.随着氧化膜厚度的增加,内部氧化越来越不充分,TiO_2的含量减少,并逐渐出现Ti:O_3、TiO;并且阳极氧化处理明显增厚了表面氧化膜.
关键词:钛合金; 阳极氧化; XPS; Titanium alloy; Anodic oxide film; XPS;
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