化学气相沉积法制备金刚石薄膜的工业应用
来源期刊:材料导报2001年第3期
论文作者:邬钦崇 马志斌 汪建华
关键词:金刚石薄膜; 化学气相沉积; 工业应用;
摘 要:评述了金刚石薄膜的化学气相沉积方法,介绍了金刚石薄膜在工业中的应用前景,并分析了大规模应用所面临的技术困难.
邬钦崇1,马志斌1,汪建华2
(1.中国科学院等离子体物理研究所,;
2.武汉化工学院材料工程系)
摘要:评述了金刚石薄膜的化学气相沉积方法,介绍了金刚石薄膜在工业中的应用前景,并分析了大规模应用所面临的技术困难.
关键词:金刚石薄膜; 化学气相沉积; 工业应用;
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