纳米压痕和划痕法对含氧化铈薄膜机械性能的测定
来源期刊：中国稀土学报2006年增刊第1期
论文作者：赵洪力 张福成 蔡永秀 韩冰
关键词：双层薄膜; 氧化铈; 溶胶-凝胶法; 纳米压痕; 纳米划痕; 稀土;
摘 要：采用溶胶-凝胶法在玻璃基体上制备了CeO2-TiO2单层膜、TiO2-SiO2单层膜和CeO2-TiO2/TiO2-SiO2双层膜,采用纳米压痕和划痕法对薄膜的机械性能(纳米硬度、弹性模量、临界载荷、摩擦系数)进行了分析.实验结果表明,双层膜与玻璃基体的附着力以及弹性模量、硬度等指标均大于单层膜,由TiO2-SiO2组成的内层,对强化附着力起到了关键作用.
赵洪力1，张福成1，蔡永秀1，韩冰1
(1.燕山大学材料科学与工程学院,河北,秦皇岛,066004;
2.河北省亚稳材料制备技术与科学重点实验室,燕山大学,河北,秦皇岛,066004)
摘要:采用溶胶-凝胶法在玻璃基体上制备了CeO2-TiO2单层膜、TiO2-SiO2单层膜和CeO2-TiO2/TiO2-SiO2双层膜,采用纳米压痕和划痕法对薄膜的机械性能(纳米硬度、弹性模量、临界载荷、摩擦系数)进行了分析.实验结果表明,双层膜与玻璃基体的附着力以及弹性模量、硬度等指标均大于单层膜,由TiO2-SiO2组成的内层,对强化附着力起到了关键作用.
关键词:双层薄膜; 氧化铈; 溶胶-凝胶法; 纳米压痕; 纳米划痕; 稀土;
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