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γ_Ν相在硼酸溶液中钝化膜的组成及其半导体特性研究

来源期刊:中国腐蚀与防护学报2018年第1期

论文作者:李广宇 雷明凯

文章页码:47 - 53

关键词:等离子体源渗氮;高氮面心立方相;钝化膜;耐蚀性能;半导体特性;

摘    要:采用等离子体源渗氮技术在AISI 304L奥氏体不锈钢表面制备高氮面心结构的γΝ相层。利用AES和XPS分析了γΝ相层在p H值为8.4的硼酸溶液中钝化膜的化学组成,借助Mott-Schottky方程分析了γΝ相层钝化膜的半导体特性。结果表明:γΝ相层钝化膜具有双层结构,外层由Fe、Cr氢氧化物和氧化物构成,呈现出n型半导体特性;内层主要以Cr2O3为主,呈现出p型半导体特性,并且N以Fe Nx和Cr Nx形式存在于钝化膜内。与原始不锈钢钝化膜相比,γΝ相层钝化膜内施主浓度和受主浓度更低,平带电位负移,说明其钝化膜致密性更好,腐蚀速率更低。

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γ_Ν相在硼酸溶液中钝化膜的组成及其半导体特性研究

李广宇1,雷明凯2

1. 营口理工学院机电工程系2. 大连理工大学材料科学与工程学院

摘 要:采用等离子体源渗氮技术在AISI 304L奥氏体不锈钢表面制备高氮面心结构的γΝ相层。利用AES和XPS分析了γΝ相层在p H值为8.4的硼酸溶液中钝化膜的化学组成,借助Mott-Schottky方程分析了γΝ相层钝化膜的半导体特性。结果表明:γΝ相层钝化膜具有双层结构,外层由Fe、Cr氢氧化物和氧化物构成,呈现出n型半导体特性;内层主要以Cr2O3为主,呈现出p型半导体特性,并且N以Fe Nx和Cr Nx形式存在于钝化膜内。与原始不锈钢钝化膜相比,γΝ相层钝化膜内施主浓度和受主浓度更低,平带电位负移,说明其钝化膜致密性更好,腐蚀速率更低。

关键词:等离子体源渗氮;高氮面心立方相;钝化膜;耐蚀性能;半导体特性;

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