林尼克结构干涉测量系统误差分析

刘世元¹，王海珊¹，史铁林¹，廖广兰¹，冯奎景¹

(1.华中科技大学机械科学与工程学院,武汉,430074;
2.武汉光电国家实验室,武汉,430074)

摘要:在应用林尼克结构干涉测量系统进行测量时,发现系统存在一个近似为二次曲面的测量误差.根据光学干涉系统的测量原理,分别对林尼克结构干涉测量系统的相移器误差、摄像机误差和光学系统误差进行了分析,确定光学系统误差是干涉测量系统的主要误差源,其中显微物镜焦点轴向误差是产生系统测量误差曲面的主要原因.以平面为实验测量样件,应用测量系统对参考光臂显微物镜的不同轴向位置进行了测量,通过分析测量结果验证了焦点轴向误差对系统测量误差的影响,并与理论结果进行了比较.

关键词:林尼克结构干涉测量系统; 系统测量误差; 焦点轴向误差; 相移器误差; 摄像机误差;

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