简介概要

双稳态MEMS电磁微继电器响应速度的分析

来源期刊:功能材料与器件学报2011年第1期

论文作者:汤学华 吉特

文章页码:87 - 92

关键词:微机电系统;电磁微继电器;双稳态;响应速度;

摘    要:本文设计了一种基于微机电系统(MEMS)技术的新型双稳态电磁微继电器,并对影响其响应速度的因素进行了分析。测试后,结果表明,器件在运行过程中的脉冲间歇期间能够保持稳定状态而无需额外功耗;并且能够实现通过调节运行幅度,来提高器件的响应速度,最短的响应时间可以达到0.3ms。

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双稳态MEMS电磁微继电器响应速度的分析

汤学华1,吉特2

1. 上海电机学院图书馆2. 中国科学院上海应用物理研究所同步辐射实验部

摘 要:本文设计了一种基于微机电系统(MEMS)技术的新型双稳态电磁微继电器,并对影响其响应速度的因素进行了分析。测试后,结果表明,器件在运行过程中的脉冲间歇期间能够保持稳定状态而无需额外功耗;并且能够实现通过调节运行幅度,来提高器件的响应速度,最短的响应时间可以达到0.3ms。

关键词:微机电系统;电磁微继电器;双稳态;响应速度;

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