真空热处理对镍基单晶高温合金溅射NiCrAlY涂层抗氧化性能的影响
来源期刊：中国腐蚀与防护学报2002年第3期
论文作者：张重远 孙晓峰 金涛 胡壮麒 李美姮 胡望宇 管恒荣
关键词：溅射; NiCrAlY涂层; 真空热处理; 抗氧化性;
摘 要：用磁控溅射法在镍基单晶高温合金基体上沉积NiCrAlY涂层,研究了真空热处理对涂层组织结构及抗氧化性能的影响.结果表明,溅射NiCrAlY涂层主要由γ-Ni和β-NiAl两相组成,元素分布均匀;经真空热处理后,涂层主要由γ′-Ni3Al、β-NiAl相和极少量的α-Al2O3相组成,元素分布变得不均匀,最外层富Al贫Cr.真空热处理可使溅射NiCrAlY涂层表面较早生成保护性能良好的α-Al2O3.1000℃氧化200 h,溅射涂层氧化膜有较大部分已经剥落,但真空热处理涂层的氧化膜仍较好地粘附在涂层基体上.真空热处理使溅射NiCrAlY涂层表面生成的氧化膜粘附性更好,提高了溅射NiCrAlY涂层的抗氧化性能.
张重远1，孙晓峰1，金涛1，胡壮麒1，李美姮1，胡望宇2，管恒荣1
(1.中国科学院金属研究所,沈阳,110016;
2.湖南大学材料科学与工程学院,长沙,410082)
摘要:用磁控溅射法在镍基单晶高温合金基体上沉积NiCrAlY涂层,研究了真空热处理对涂层组织结构及抗氧化性能的影响.结果表明,溅射NiCrAlY涂层主要由γ-Ni和β-NiAl两相组成,元素分布均匀;经真空热处理后,涂层主要由γ′-Ni3Al、β-NiAl相和极少量的α-Al2O3相组成,元素分布变得不均匀,最外层富Al贫Cr.真空热处理可使溅射NiCrAlY涂层表面较早生成保护性能良好的α-Al2O3.1000℃氧化200 h,溅射涂层氧化膜有较大部分已经剥落,但真空热处理涂层的氧化膜仍较好地粘附在涂层基体上.真空热处理使溅射NiCrAlY涂层表面生成的氧化膜粘附性更好,提高了溅射NiCrAlY涂层的抗氧化性能.
关键词:溅射; NiCrAlY涂层; 真空热处理; 抗氧化性;
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