多弧离子镀膜技术结合扩散法制备高硅钢（英文）

马海林¹，李艳²，耿中荣³

1. 兰州交通大学国家绿色镀膜技术与装备工程技术研究中心2. 兰州城市学院3. 兰州交通大学机电工程学院

摘 要：用多弧离子镀膜技术结合热扩散成功制备了高硅钢材料。研究了在不同扩散温度下合金的结构、形貌以及硅扩散深度。X射线衍射（XRD）测试表明,在经过高温热处理后样品表层均为α-Fe体心立方结构。硅扩散依赖于表层Fe3Si的结构的形成,场发射扫描电镜结合X射线能谱（FE-SEM,EDS）检测显示:在经过1200℃真空热处理后样品断面硅质量分数从4.6%至5.1%不等,而显微硬度HV测试值为2800 MPa,进一步印证了能谱测试的准确性。

关键词：扩散;高硅钢;软磁材料;XRD;