类金刚石砂轮的开发
来源期刊：超硬材料工程2007年第3期
论文作者：山口胜美 蒋修治
文章页码：51 - 52
关键词：DLC涂层;DLC纤维;定向排列;DLC砂轮;
摘 要：新开发类金刚石（DLC）砂轮所用的DLC纤维是涂敷DLC膜的铝板经压延机单向压延而成的,DLC膜断裂成纤维状,而且纤维的方向保持一致,经几层叠合,由结合剂固结并烧结制成DLC纤维砂瓦,用其制作出杯形砂轮。然后,利用这种砂轮进行硅片、石英、SKD-11淬硬钢的磨削。硅片的磨削结果表明,加工表面粗糙度可达Ry=15nm（Ra=2nm）。
山口胜美，蒋修治
摘 要：新开发类金刚石（DLC）砂轮所用的DLC纤维是涂敷DLC膜的铝板经压延机单向压延而成的,DLC膜断裂成纤维状,而且纤维的方向保持一致,经几层叠合,由结合剂固结并烧结制成DLC纤维砂瓦,用其制作出杯形砂轮。然后,利用这种砂轮进行硅片、石英、SKD-11淬硬钢的磨削。硅片的磨削结果表明,加工表面粗糙度可达Ry=15nm（Ra=2nm）。
关键词：DLC涂层;DLC纤维;定向排列;DLC砂轮;
