石英坩埚打磨用金刚石端面铣轮的加工性能研究

来源期刊：超硬材料工程2014年第6期

论文作者：邓竹君 王桃章 赵海洋

文章页码：27 - 31

关键词：金刚石端面铣轮;新型工艺;使用寿命;石英坩埚;

摘    要：石英坩埚,是拉制单晶硅和生产多晶硅铸锭的必要容器。石英坩埚制成后需使用金刚石端面铣轮对其底面进行打磨,目前进口的金刚石端面铣轮使用效果较好,但是价格昂贵,而国内生产的金刚石端面铣轮虽然价格相对便宜,但是质量不高,加工性能不稳定。我公司开发了一种新型生产工艺并制备了金刚石端面铣轮,且进行了金刚石端面铣轮对比打磨石英坩埚试验。结果表明:与采用常规生产工艺制备的金刚石端面铣轮相比,采用新型生产工艺制备的金刚石端面铣轮其使用寿命平均提高45%,且在打磨石英坩埚过程中加工效率比较稳定。