CoNbZr非晶软磁薄膜晶化动力学研究
来源期刊：功能材料2005年第2期
论文作者：钟智勇 文歧业 杨争 蒋向东 张怀武 唐晓莉
关键词：晶化动力学; 纳米晶; 软磁薄膜;
摘 要：采用DSC热分析技术,结合XRD、TEM和AFM实验,对磁控溅射制备的Co85.5Nb8.9Zr5.6非晶合金软磁薄膜进行了变温和等温晶化动力学的研究.研究结果表明:升温晶化时,薄膜的晶化的表观激活能为99.82kJ/mol;局域激活能随晶化度增加;在等温晶化过程中,平均激活能为88.51kJ/mol,Avrami指数1.17～1.39,晶化行为主要是一维表面晶化,晶核长大受扩散控制的过程.
钟智勇1，文歧业1，杨争2，蒋向东1，张怀武1，唐晓莉1
(1.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054;
2.四川大学,分析测试中心,四川,成都,610041)
摘要:采用DSC热分析技术,结合XRD、TEM和AFM实验,对磁控溅射制备的Co85.5Nb8.9Zr5.6非晶合金软磁薄膜进行了变温和等温晶化动力学的研究.研究结果表明:升温晶化时,薄膜的晶化的表观激活能为99.82kJ/mol;局域激活能随晶化度增加;在等温晶化过程中,平均激活能为88.51kJ/mol,Avrami指数1.17～1.39,晶化行为主要是一维表面晶化,晶核长大受扩散控制的过程.
关键词:晶化动力学; 纳米晶; 软磁薄膜;
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