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6H-SiC材料与器件辐照效应的研究进展

来源期刊：材料导报2009年第5期

论文作者：杨治美牟维兵龚敏

关键词：6H-SiC; 辐照效应; 研究现状; 发展趋势;

摘要：介绍了6H-SiC材料和器件辐照效应研究的目的和方法,并对国内外最近几年的研究情况进行了介绍、分析和总结.指出目前的研究主要集中于辐射效应方面,但在抗辐射加固技术方面研究不足,国内应根据现有条件注重辐射效应机理方面的研究.

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杨治美¹，牟维兵¹，龚敏¹

(1.四川大学物理学院,成都,610064;
2.中物院电子工程研究所,绵阳,621900)

摘要:介绍了6H-SiC材料和器件辐照效应研究的目的和方法,并对国内外最近几年的研究情况进行了介绍、分析和总结.指出目前的研究主要集中于辐射效应方面,但在抗辐射加固技术方面研究不足,国内应根据现有条件注重辐射效应机理方面的研究.

关键词:6H-SiC; 辐照效应; 研究现状; 发展趋势;

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