衬底对铟凸点织构的影响研究
来源期刊：稀有金属材料与工程2003年第8期
论文作者：崔建国 刘豫东 马莒生
关键词：织构; 衬底; 铟凸点; 磁控溅射;
摘 要：为研究衬底材料对所溅射的铟织构模式的影响,选用UBM(Under Bump Metallization)膜、InSb单晶和无定形PR(光刻胶)3种不同衬底材料磁控溅射铟,实验对比了3种衬底材料对铟织构的影响.实验结果表明:铟的织构模式基本不受衬底材料的影响,其织构模式主要为强(101)丝织构和弱的(110)丝织构.这证明了铟的织构形成机理是典型的生长竞争机制.
崔建国1，刘豫东1，马莒生1
(1.清华大学,北京,100084)
摘要:为研究衬底材料对所溅射的铟织构模式的影响,选用UBM(Under Bump Metallization)膜、InSb单晶和无定形PR(光刻胶)3种不同衬底材料磁控溅射铟,实验对比了3种衬底材料对铟织构的影响.实验结果表明:铟的织构模式基本不受衬底材料的影响,其织构模式主要为强(101)丝织构和弱的(110)丝织构.这证明了铟的织构形成机理是典型的生长竞争机制.
关键词:织构; 衬底; 铟凸点; 磁控溅射;
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