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镁掺杂量对钐/镁共掺杂CaCu3Ti4O12薄膜电学性能的影响

来源期刊:机械工程材料2019年第4期

论文作者:孙春莲 王彬彬

文章页码:39 - 43

关键词:溶胶-凝胶法;CaCu3Ti4O12薄膜;介电性能;非线性;压敏性能;

摘    要:采用溶胶-凝胶法在Si(100)基底上制备Ca0.925Sm0.05Cu3-yMgyTi4O12(y=0,0.05,0.10,0.15,0.20,物质的量分数/%,下同)薄膜,研究了镁掺杂量对薄膜物相组成、微观形貌以及介电和压敏性能的影响。结果表明:不同镁掺杂量薄膜均主要由多晶CaCu3Ti4O12相以及少量SiC和CaTiO3相组成;随着镁掺杂量的增加,薄膜的晶粒尺寸和相对介电常数增大;当镁掺杂量为0.10%时,薄膜的致密性能最好,在低频下的介电损耗最小;不同镁掺杂量薄膜的电流密度和电场强度均为非线性关系,当镁掺杂量为0.10%时的非线性系数最大,漏电流较小。

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镁掺杂量对钐/镁共掺杂CaCu3Ti4O12薄膜电学性能的影响

孙春莲1,2,王彬彬2

1. 新乡职业技术学院2. 江苏大学材料科学与工程学院

摘 要:采用溶胶-凝胶法在Si(100)基底上制备Ca0.925Sm0.05Cu3-yMgyTi4O12(y=0,0.05,0.10,0.15,0.20,物质的量分数/%,下同)薄膜,研究了镁掺杂量对薄膜物相组成、微观形貌以及介电和压敏性能的影响。结果表明:不同镁掺杂量薄膜均主要由多晶CaCu3Ti4O12相以及少量SiC和CaTiO3相组成;随着镁掺杂量的增加,薄膜的晶粒尺寸和相对介电常数增大;当镁掺杂量为0.10%时,薄膜的致密性能最好,在低频下的介电损耗最小;不同镁掺杂量薄膜的电流密度和电场强度均为非线性关系,当镁掺杂量为0.10%时的非线性系数最大,漏电流较小。

关键词:溶胶-凝胶法;CaCu3Ti4O12薄膜;介电性能;非线性;压敏性能;

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