微电子机械系统的制造及其应用
来源期刊：机械设计与制造1997年第5期
论文作者：刘青
摘 要：微电子机械系统的制造及其应用武汉工业大学机电学院刘青微电子机械系统是指从微米（ｍｉｃｒｏｎｍｅｔｅｒ，１０－６ｍ）到毫米（ｍｉｌｉｍｅｔｅｒ，１０－３ｍ）量级大小的装置，这种装置既可以制造成离散的单个零件，也可以以较大规模的阵列方式制造。其制造过程在...
刘青
武汉工业大学机电学院
摘 要：微电子机械系统的制造及其应用武汉工业大学机电学院刘青微电子机械系统是指从微米（ｍｉｃｒｏｎｍｅｔｅｒ，１０－６ｍ）到毫米（ｍｉｌｉｍｅｔｅｒ，１０－３ｍ）量级大小的装置，这种装置既可以制造成离散的单个零件，也可以以较大规模的阵列方式制造。其制造过程在...
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