双（2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸）钯（Ⅱ）的制备及成膜性能

蔡宏中^1,2，易健宏¹，胡昌义^1,2，常桥稳²，魏燕²，郑旭²，刘伟平²，陈力^1,2

1. 昆明理工大学2. 昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室

摘 要：以二氯化钯和2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮为原料,在甲醇中合成了一种新的β二酮前驱体-双（2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸）钯（Ⅱ）。通过元素分析、红外光谱、核磁共振氢谱及单晶X射线衍射等技术对合成的前驱体进行了结构表征。热重-差热分析表明,在N2气氛中,当温度升到291℃时,前驱体基本挥发完全。采用合成的前驱体通过金属有机化学气相沉积（MOCVD）技术在石英上沉积制备钯薄膜,利用XRD和AFM分析手段对薄膜的结构和表面形貌进行了表征。结果表明,所得到的薄膜纯净,无其他杂质存在,薄膜表面连续、致密。

关键词：双（2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸）钯（Ⅱ）;钯薄膜;MOCVD;