热处理对辐照区熔硅单晶的重要作用
来源期刊：中国稀土学报2002年增刊第2期
论文作者：郭立洲
关键词：稀土; 区熔; 硅单晶; 热处理;
摘 要：阐述了热处理对辐照区熔硅单晶的影响.
郭立洲1
(1.河南新乡华丹电子有限责任公司,河南新乡,453002)
摘要:阐述了热处理对辐照区熔硅单晶的影响.
关键词:稀土; 区熔; 硅单晶; 热处理;
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