ITO气敏材料的制备和掺杂工艺的研究进展
来源期刊：材料导报2011年第S1期
论文作者：封皓 陈敬超 周晓龙
文章页码：212 - 214
关键词：ITO;气敏材料;制备工艺;掺杂优化;气敏机理;掺杂机理;新形态;
摘 要：主要介绍了ITO薄膜的制备工艺和掺杂优化工艺,例举了两种气敏机理的推论以及掺杂优化的机理。指出今后ITO气敏材料的气敏机理将成为研究重点,新形态ITO材料的研发将成为主要发展方向。
封皓，陈敬超，周晓龙
昆明理工大学材料科学与工程学院
摘 要：主要介绍了ITO薄膜的制备工艺和掺杂优化工艺,例举了两种气敏机理的推论以及掺杂优化的机理。指出今后ITO气敏材料的气敏机理将成为研究重点,新形态ITO材料的研发将成为主要发展方向。
关键词：ITO;气敏材料;制备工艺;掺杂优化;气敏机理;掺杂机理;新形态;
